日本Otsuka大塚MINUK光波動場三次元顯微鏡-成都藤田科技提供

Smart膜厚儀 vs OPTM顯微分光膜厚儀——革新光學(xué)測量的雙引擎

核心對比與OPTM優(yōu)勢：

1. 技術(shù)差異化：

• OPTM系列：基于分光干涉法，結(jié)合顯微光學(xué)系統(tǒng)，實現(xiàn)反射率分析，支持超薄膜（1nm）與復(fù)雜多層結(jié)構(gòu)，技術(shù)解決透明基板干擾。

• Smart膜厚儀：側(cè)重便攜性與快速篩查，適用于常規(guī)單層膜厚測量，但精度與功能擴展性不及OPTM系列。

2. 應(yīng)用場景：

• OPTM適用于研發(fā)（R&D）與高精度QC，如半導(dǎo)體晶圓、光學(xué)濾光片；Smart膜厚儀更適合產(chǎn)線快速抽檢。

3. 性價比優(yōu)勢：OPTM以中型設(shè)備成本提供媲美橢偏儀的精度，且操作門檻更低，軟件內(nèi)置NIST校準(zhǔn)追溯，確保數(shù)據(jù)可靠性。

產(chǎn)品信息

特點

可評價nｍ級的透明的異物?缺陷 一次拍照即可瞬時獲得深度方向的信息 無需對焦，可高速測量 可非破壞?非接觸?非侵入的測量 可在任意的面進(jìn)行高速掃描,輕松決定測量位置

規(guī)格

測量案例

將肉眼無法看見的透明薄膜表面可視化?定量化

可以非接觸、非破壞性、非侵入性地獲得nm級的形狀信息。通過一次拍照即可獲取深度方向的信息，可以將透明薄膜表面上肉眼不可見的劃痕和缺陷的橫截面形狀數(shù)值化實現(xiàn)可視化。

觀察透明薄膜內(nèi)部的填充劑

肉眼無法看到的透明薄膜內(nèi)部的填充劑，通過一次拍照即可觀察到。此外，通過在測量后改變深度方向的焦點，可以識別到各個深度的填充劑。

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